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国家知识产权局信息数据显现，使用资料公司请求一项名为“高性能CMP多盘设备”的专利，公开号CN122029006A，请求日期为2024年10月。
专利摘要显现，本文公开了一种体系，所述体系可包含限制多个凹穴的万向支架，其间每个凹穴可包含榜首部分以及在所述榜首部分与所述凹穴的基底之间延伸的第二部分。所述第二部分的直径能够大于所述榜首部分的直径。所述体系能包含多个调理盘，其间每个调理盘坐置于相应凹穴的所述榜首部本分。所述体系能包含多个垫圈，其间每个垫圈坐置于相应凹穴的所述第二部本分。所述体系能包含多个O形环，每个O形环设置在所述多个调理盘中的一个调理盘的周边边际与所述多个凹穴中的一个凹穴的侧向壁之间。所述体系能包含多个有肩螺钉，所述多个有肩螺钉用于将所述万向支架与所述多个垫圈中的一个垫圈和调理盘耦接。
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